Sicheres Dünnwaferhandling
Smartphones, Tablet-PCs und Laptops werden immer flacher. Möglich machen dies miniaturisierte Halbleiter und Mikro-Prozessoren, die zunehmend Verbreitung finden. Mikrochips und korrespondierende leitende Teile werden dabei üblicherweise auf Trägersubstraten prozessiert. Mit anderen Worten: Hauchdünne mikrostrukturierte Wafer werden auf ebenso hauchdünnen Carrier-Wafern von Bearbeitungsstation zu Bearbeitungsstation verlagert.
Während Standardwafer eine Dicke von 700 bis 1.000 Mikrometern besitzen, weisen Dünnwafer für die neuen Chip-Generationen eine Dicke von lediglich 50 bis 150 Mikrometern auf. Um diese dünnen Glas- oder Silizium-Scheibchen mit Durchmessern von bis zu 300 mm zu handeln, kommt die Mechatronic GmbH ins Spiel. „Dünnwafer haben den Nachteil, dass sie bei Berührung mit einem Greifer aufgrund der geringen Materialstärke verbiegen und wegen der Sprödigkeit des Materials sehr schnell brechen können“, informiert das Unternehmen. Deshalb sei es eben nötig, Dünnwafer nicht punktuell, sondern auf einer Unterlage, eben Carriern oder auch Luftpolstern, zu transportieren.
Villacher an der Spitze der technischen Entwicklung
„Deshalb startete Mechatronic Systemtechnik in enger Kooperation mit Infineon die Entwicklung einer weltweit einzigartigen Technologie, die in der Lage ist, Dünnwafer berührungslos von einem Prozessschritt zum nächsten zu transportieren.“ Die patentierte Lösung beruht auf dem Bernoulli-Vakuum-Prinzip und ermöglicht das Handling mit speziellen Greifern. Die von Mechatronic Systemtechnik entwickelte Technologie stellt derzeit das weltweit einzige Verfahren für das berührungslose, automatisierte Transportieren von Dünnwafern dar.
Das Hauptgeschäftsfeld des Unternehmens sind Systeme und Komponenten für das Handling von Wafern mit einer Größe von 150, 200 bzw. 300 mm und einer Dicke von 50 bis 150 Mikrometern. Dabei ist sowohl die Fertigung von „Stand-alone Tools“ als auch die Integration von Systemen in bereits bestehende Equipments möglich. Kennzeichnend für die Lösungen ist das berührungslose Handling der Wafer auf Basis des Bernoulli-Vakuum-Prinzips, so dass selbst extrem in sich verspannte Wafer transportiert werden können. Mechatronic bietet dabei ganze Fertigungsstraßen oder auch Stand-alone Tools an. Da die Fertigung unter Reinraumbedingungen erfolgt, gehören Services rund um diese Technologie ebenfalls zum Portfolio.
Breites Anwendungsspektrum
Intelligente Waferhandling-Strategien werden in praktisch allen Branchen benötigt. In der Automobilindustrie werden zum Beispiel Reifendruck-Sensoren. LED-Headlamps und Common-Rail-Einspritzsysteme mittels strukturierter Wafer hergestellt. Gyros-Sensoren finden sich sowohl im Automotive-Bereich als auch in der Luft- und Raumfahrttechnologie, IT, Smartphones, MP3-Player und Tablet-PCs könnten ohne Halbleiter in Dünnwafertechnologie nicht so flach gebaut werden, Unterhaltungselektronik, Photovoltaik oder Medizintechnik sind weitere wichtige Anwendungsgebiete. Mechatronic bewegt sich damit in allen Zukunftsmärkten, allerdings ist der Wettbewerbsdruck hoch.
Schon wenige Jahre nach Gründung des Unternehmens 1998 gewann Mechatronic namhafte Referenzkunden wie Infineon, SEZ, Fresenius, Elan und CCSystems. 2005 starteten Serienfertigung und Verkauf von Dünnwafer-Handlingsystemen. Mittlerweile hat das Unternehmen ein weltweites 
Hilfreicher Kreis von Investoren
Die Mechatronic Systemtechnik GmbH wird von fünf Anteilseignern getragen. Neben Gründer und CEO Walter Schober und einem stillen Teilhaber sind die institutionellen Anteilseigner Danube Equity sowie die deutschen Private-Equity-Fonds FIDURA Vermögensbildungs- und Absicherungsfonds und FIDURA Rendite Plus Ethik Fonds engagiert. Danube Equity ist Österreichs größter Corporate Venture-Capital-Fonds und steht im Eigentum des österreichischen Industriekonzerns Voestalpine und der 3-Banken-Gruppe Oberbank, Bank für Kärnten und Steiermark sowie Bank für Tirol und Vorarlberg. Durch die Eigentümerstruktur und das internationale Netzwerk kann Danube Equity viele Türen für Mechatronic öffnen.
Während Mechatronic bei internationalen Messen rund um den Globus sehr aktiv ist, blieb die schriftliche Anfrage von GoingPublic zu Geschäftszahlen und weiteren Plänen unbeantwortet. Früher oder später dürfte Mechatronic am Kapitalmarkt erscheinen, zumal Danube Equity angibt, Beteiligungen in der Regel drei bis sechs Jahre zu halten, und dann ein IPO als Möglichkeit winkt. Offensichtlich ist, dass Mechatronic gute Wachstumsperspektiven besitzt. So sind die Kärntner Technologiepartner im Rahmen des EU-Projektes „20 percent efficiency on less than 100 µm thick industrially feasible c-Si Solar cells“. Ziel ist es, die Effizienz von Photovoltaikzellen auf rund 20% zu steigern. Durch die Verringerung der Wafer-Dicke auf bis zu 50 Mikrometer soll zudem der Silizium-Einsatz von acht auf drei Gramm pro Watt reduziert werden.
Fazit:
Mechatronic ist ein klassischer Wachstumswert in einem hoch interessanten Technologiebereich. Die Story ist geradezu gemacht für ein Going Public, auch die Eigentümerstruktur macht ein solches Szenario denkbar.
Stefan Preuß
Kurzprofil Mechatronic Systemtechnik GmbH
Gründungsjahr: 1998
Branche: Waferhandling/Prozesstechnik
Unternehmenssitz: Villach
Mitarbeiter 2012: 50
Konzernumsatz 2012: k.A
Gewinn 2012: k.A.
Internet: